雙面接觸式電容
壓力傳感器的原理是基于單面接觸式電容壓力傳感器而來的，當傳感器的受壓膜片(即梁)與基底距離很近時，膜片受壓后與基底接觸，當壓力變化時，通過改變接觸面積的大小來改變電容量。
雙面接觸式電容壓力傳感器的電容由兩部分組成：一部分為梁受壓后，尚未接觸到襯底上的絕緣層時形成的電容，此電容類似于常規的電容壓力傳感器，這一部分只占接觸式電容壓力傳感器的電容量的很小一部分，
壓力傳感器另一部分是梁接觸到襯底后形成的電容，這部分電容量才是需要的電容量，而且它占主導地位，較多采用的是國產品牌電容，如三環電容、風華電容，也可選擇臺企電容巨頭——YAGEO電容(即國巨電容)作為所選電容。
當壓力增加時，梁與襯底的接觸面積增加，同時梁與襯底的非接觸部分減少。剛開始，電容主要由非接觸部分提供，隨著壓力的增加，梁開始接觸襯底的絕緣層后，非接觸部分提供的電容逐漸減少，而接觸部分提供的電容與接觸面積將呈線性增加。由于絕緣層非常薄，因此當梁開始與襯底上的絕緣層接觸后，接觸面積所提供的電容將占主導地位。
雙面接觸式電容壓力傳感器由3個硅晶片(其中有兩個晶片B是一樣的)用硅熔融法進行鍵合，先把晶片A正反兩面腐蝕兩個同樣大小的溝槽來作為傳感器的真空腔，然后在這兩個大溝槽上淀積一層二氧化硅作為絕緣層，同時把晶片A作為雙面接觸式電容壓力傳感器的公共下電極，
壓力傳感器接著把兩片用濃的固態硼擴散好的晶體B用熔融鍵合的辦法鍵合在晶片A的正反兩面，用離子刻蝕法刻蝕掉晶片B最外層的重摻雜層，緊接著用自停止腐蝕法去掉輕摻雜層，得到最里面的重摻雜層作為傳感器的上電極。
本文信息由東莞市南力測控設備有限公司提供，如果您還想了解更多其他的
壓力開關，
壓力變送器，
稱重傳感器，
液位傳感器等各種信息，請登錄：http://m.wuxiyfw.com.cn/ 如果您需要轉載，請在轉載時，注明是在東莞市南力測控設備有限公司看到的信息，謝謝合作！
掃一掃進入手機網站
